全新研发的FLP晶圆抛光机1300-1700是一款专为晶圆及玻璃晶圆加工设计的双面平面抛光设备。该机型首次采用耐化学腐蚀的花岗岩抛光盘，确保工具平面达到极高精度，并配备无级调节的伺服驱动系统。这一创新设计支持在预抛光或精抛光过程中对最大12英寸晶圆进行双面加工。
核心优势一览：
花岗岩结构机身
自动化浆料混合系统
浆料循环回收装置
浆料分离技术
去离子水与氮气清洁系统
废水分离处理
自动工具修整功能
抛光垫定制配置
可自由编程控制系统
文本引导式操作界面
工艺参数实时监控
扭矩监测系统
直观编程辅助工具
故障分析系统
工作盘温控技术
集成式厚度测量模块

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